德國析塔
德國析塔
生產太陽能電池時，晶片要虛線蝕刻干凈，或者清除掉一個特定的晶圓層。因此，潤濕劑，多數用異丙醇(IPA)，會被加到蝕刻劑溶液中以降低表面張力。工藝過程的問題是：蝕刻過程的對流會引起異丙醇的快速蒸發，蝕刻劑的表面張力增加，蝕刻工藝的質量降低。因此，為了將蝕刻劑中異丙醇的濃度控制在規定范圍內，就必須監測動態表面張力以得知異丙醇的濃度。而靜態表面張力的測量法例如拉環法和吊片法對于這種在生產過程中分析不適用。
德國SITA公司的創新的氣泡壓力法表面張力儀由于可以精確、快速的測量動態表面張力，而幫助各領域的應用找到最佳的解決方案。在下圖中您可以看到動態表面張力和異丙醇濃度的關系。SITA DynoTester+手持式表面張力儀和在線表面張力系統SITA ST對監測蝕刻劑來說是最合適的檢測設備。
SITA Dyno Tester 是靈活、輕便的可以輕松快速的測量蝕刻劑溶液表面張力的設備，無需任何專業操作經驗。所得的測量數據可以與所需的值對比，得出異丙醇濃度是否還在規定范圍之內。如果超出范圍，可以通過快速的額外增加劑量增加濃度解決問題。
動態表面張力與IPA濃度的關系
設備的USB端口可以將數據傳輸到電腦上，電腦也可以作為一個外接電源。SITA 動態表面張力儀對清洗池槽液中表面活性劑濃度的進行測量的最佳儀器。
在一些領域的應用中，我們需要對槽液表面活性劑濃度進行連續在線監測，是影響蝕刻質量的重要因素。SITA公司提供在線表面張力檢測系統SITA ST作為解決方案，它可以自動定時的測量清洗液的表面張力，自動將測得的表面張力數據與限定值作對比。因此我們可在異丙醇濃度超出限定值后，在短時間內采取相關處理措施。而且，可節省監測異丙醇濃度方面的人力資源。
德國SITA公司的表面張力儀可以可靠地監測異丙醇濃度，達到高質量的蝕刻工藝和避免異丙醇過量。