TMAH溶液表面張力及表面性劑濃度的精準(zhǔn)控制

　　四甲基氫氧化銨(TMAH)溶液，在晶片生產(chǎn)中用作CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)預(yù)清洗劑，或在半導(dǎo)體領(lǐng)域的光刻工藝中作為顯影劑。為了完全潤(rùn)濕晶片表面，通常會(huì)在TMAH溶液中加入表面活性劑以降低其表面張力。確保一個(gè)穩(wěn)定且不與表面幾何形狀相關(guān)的蝕刻過(guò)程。

　　動(dòng)態(tài)表面張力(隨時(shí)間變化的潤(rùn)濕行為)對(duì)涂層的均勻性和一致性有著非常重要的影響，靜態(tài)測(cè)量法如吊片和拉環(huán)的方法并不適用于這類問(wèn)題的分析，因?yàn)樗麄儨y(cè)量的是靜態(tài)表面張力而非動(dòng)態(tài)表面張力。此外，使用靜態(tài)法測(cè)量后，必須對(duì)測(cè)試設(shè)備進(jìn)行非常復(fù)雜的清洗，這會(huì)耗費(fèi)大量的時(shí)間。德國(guó)SITA公司根據(jù)不同的應(yīng)用領(lǐng)域，提供不同的解決方案以檢測(cè)槽液配方的表面張力。基于創(chuàng)新的氣泡壓力法，SITA表面張力儀可以精確、快速的測(cè)量動(dòng)態(tài)表面張力，從動(dòng)態(tài)到準(zhǔn)靜態(tài)的表面張力 。

　　SITA DynoTester是一個(gè)非常靈活、輕便的手持式表面張力測(cè)試儀，非常適用于工藝過(guò)程中質(zhì)量的監(jiān)控，可進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量，測(cè)試時(shí)間短，測(cè)試結(jié)果能立即與所需值作對(duì)比。因此，SITA DynoTester 可對(duì)TMAH溶液的潤(rùn)濕性能進(jìn)行簡(jiǎn)便快捷的分析。操作簡(jiǎn)單，無(wú)需任何專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，儀器的所有功能都可通過(guò)儀器上的按鍵實(shí)現(xiàn)。

　　對(duì)于高要求的TMAH溶液，以及需對(duì)檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行連續(xù)監(jiān)控的情況，SITA 公司推薦使用過(guò)程監(jiān)控系統(tǒng)--SITA Clean Line ST。這一系統(tǒng)直接集成在工藝過(guò)程中，定期測(cè)量表面張力，并在設(shè)定的范圍內(nèi)自動(dòng)比較數(shù)據(jù)，因此我們可在表

　　面活性劑濃度超出限定值后，在短時(shí)間內(nèi)采取相關(guān)處理措施。設(shè)備至少可以儲(chǔ)存一整年的測(cè)試數(shù)據(jù)，如果需要進(jìn)行長(zhǎng)期數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，則可以通過(guò)USB 端口將數(shù)據(jù)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)。 SITA的表面張力儀可以可靠的監(jiān)控槽液的質(zhì)量，為研發(fā)和清洗工藝過(guò)程建立良好的基礎(chǔ)進(jìn)而獲得高質(zhì)量結(jié)果。此外，表面張力檢測(cè)還能避免過(guò)量使用表面活性劑，從而降低生產(chǎn)成本。

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