硅晶片清洗表面活性劑添加量的判定方法

　　在生產(chǎn)和處理硅晶圓時(shí)，盤(pán)必須絕對(duì)潔凈。因此，晶圓的表面處理工藝造成的污染必須要在清潔工序之后去除。為了滿足這些高的清潔度要求，清洗劑的濃度一定要保持在適當(dāng)?shù)臐舛确秶畠?nèi)。

　　成功的清潔工藝有兩個(gè)條件：

　　1. 為了達(dá)成所需的清潔效果，清潔劑的濃度需要在規(guī)定范圍內(nèi)。

　　2. 在最后的漂洗過(guò)程后，須避免表面活性劑在硅晶圓上殘留。殘留的表面活性劑對(duì)后面的處理工藝會(huì)造成不利影響。

　　基于實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，由于疏于監(jiān)控清潔和漂洗工序中表面活性劑的濃度，表面活性劑經(jīng)常過(guò)量。為了消除表面活性劑過(guò)量帶來(lái)的不利影響，往往要費(fèi)時(shí)費(fèi)力地增加漂洗工序。

　　動(dòng)態(tài)表面張力的測(cè)量，確保了在特定生產(chǎn)步驟中，表面活性劑濃度的監(jiān)測(cè)并達(dá)到最佳濃度。SITA動(dòng)態(tài)表面張力儀可以精確控制表面活性劑濃度，使表面張力接近最佳值，此手段可節(jié)省大量的表面活性劑，從而去掉多余出的漂洗工序。不僅如此，在最后一道或者倒數(shù)第二道漂洗過(guò)程中，對(duì)殘留表面活性劑濃度的測(cè)試也可預(yù)判清洗質(zhì)量。

　　測(cè)量不同表面活性劑濃度的清潔劑

　　用氣泡壓力表面張力儀測(cè)動(dòng)態(tài)表面張力也能幫助我們選擇合適的清潔劑，而高活性、低表面張力的表面活性劑一般能達(dá)到更好的清潔效果。

　　至于監(jiān)控、清洗和漂洗過(guò)程，我們推薦您使用便攜式表面張力儀SITA DynoTester來(lái)進(jìn)行隨機(jī)測(cè)量，而SITA ST在線表面張力儀可進(jìn)行自動(dòng)和可靠的過(guò)程監(jiān)控。SITA ST測(cè)量清洗池中瞬時(shí)表面張力值，然后通過(guò)自動(dòng)計(jì)算表面活性劑的消耗量來(lái)自動(dòng)監(jiān)測(cè)并添加，控制表面活性劑的濃度在合理范圍。它可實(shí)現(xiàn)定時(shí)測(cè)量指定清洗池的表面張力并自動(dòng)判斷測(cè)量值是否在合理范圍。

　　SITA clean line ST表面張力儀

　　SITA DynoTester+表面張力儀